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凈化工程技術(shù)設(shè)備發(fā)展和應(yīng)用趨勢(shì)

作者:凈化工程 瀏覽量:485 來(lái)源:本站 時(shí)間:2022-08-10 09:42:07

信息摘要:

對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來(lái)講,凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路。而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。

凈化技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù),是近些年隨著高新技術(shù)發(fā)展起來(lái)的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)通常包括:空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜志控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的檢測(cè)技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境只來(lái)那個(gè)的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來(lái)講,凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路。而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國(guó)“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。

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隨著我國(guó)人民生活水平提高,人們對(duì)生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來(lái)越高要求,用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎,凈化工程技術(shù)已經(jīng)開(kāi)始進(jìn)入千家萬(wàn)戶,進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。

凈化技術(shù)和裝備的國(guó)際市場(chǎng)十分巨大,日本到80年代末、90年代初潔凈技術(shù)和設(shè)備的銷售額已突破35億美元。美國(guó)和西歐等先進(jìn)國(guó)家潔凈設(shè)備和基礎(chǔ)部件的銷售額已達(dá)73億美元。據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì),我國(guó)主要八家最大的凈化設(shè)備廠的銷售額1990年為8217萬(wàn)元,還不足1億,1993年達(dá)到14495萬(wàn)元,占國(guó)際市場(chǎng)銷售額的0.34%。但隨著我國(guó)高新技術(shù)的迅速發(fā)展和微電子工業(yè)、光纖工業(yè)、液晶顯示工業(yè)及光電器件工業(yè)、生物工程、醫(yī)藥工業(yè)的發(fā)展,我國(guó)潛在的巨大的潔凈技術(shù)產(chǎn)品市場(chǎng),以每年40%~50%的增長(zhǎng)速度在增加。因此在未來(lái),潔凈市場(chǎng)的蛋糕是巨大的。


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